前工程からの基板を一枚ずつマガジンラック内に自動で収納するアンローダ。Mサイズのマガジンラックに対応。
1. 基板収納ピッチ10・20・30・40mmの4段切替式
2. 基板収納タクト10秒以下、ラック交換18秒以下
3. 手動によりコンベア幅変更可能