Product製品情報
Panasonic CONNECT / パナソニックコネクト大型ウエハー対応プラズマクリーナー PSX307A
酸素プラズマが密着性と濡れ性を改善
プラズマモニターが異常放電による基板ダメージを回避し、不良基板の後工程流出を防ぎ、高位の品質管理が可能です。
【主な特長】
1. 均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
2. 独自の昇降ユニットが多様な基板形態に対応
3. 高品位の洗浄と改質で金属接合性、樹脂密着性を改善
© YKT CORPORATION
酸素プラズマが密着性と濡れ性を改善
プラズマモニターが異常放電による基板ダメージを回避し、不良基板の後工程流出を防ぎ、高位の品質管理が可能です。
【主な特長】
1. 均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
2. 独自の昇降ユニットが多様な基板形態に対応
3. 高品位の洗浄と改質で金属接合性、樹脂密着性を改善
