Product製品情報
PLATIT / プラティット回転円筒カソード式PVDコーティング炉 π411シリーズ
合金ターゲット不要
皮膜をソフトウェアで制御
最大4本の回転円筒カソードを搭載し、皮膜の組成比をソフトウェアで制御可能な唯一の装置。用途に適した皮膜のチューンナップや独自皮膜の確立に貢献します。
【主な特長】
1. 標準工具からホブ、タップ向け皮膜の最適化が可能
2. アークとスパッタリングの同時蒸着が可能
3. DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度
© YKT CORPORATION
合金ターゲット不要
皮膜をソフトウェアで制御
最大4本の回転円筒カソードを搭載し、皮膜の組成比をソフトウェアで制御可能な唯一の装置。用途に適した皮膜のチューンナップや独自皮膜の確立に貢献します。
【主な特長】
1. 標準工具からホブ、タップ向け皮膜の最適化が可能
2. アークとスパッタリングの同時蒸着が可能
3. DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度